Tehnologia de Sensing RF

Senzor RF cu FabGuard Oferă Analiză în Timp Real a Procesului de Plasma pentru a Reduce Semnificativ Variabilitatea Procesului Tehnologia senzorului RF INFICON oferă măsurători RF cu frecvență discriminantă, foarte precise și cu bandă largă pentru uneltele de procesare a semiconductorilor. Aceste date RF oferă o perspectivă detaliată asupra condițiilor reale de plasma atât pentru dezvoltarea procesului, cât și pentru problemele din procesul de producție, reducând semnificativ variabilitatea procesului. Ultimul din gama sa de senzori avansați de control al procesului in situ, acest senzor RF montat pe cablu, non-intruziv, se combină cu Sistemul de Integrare și Analiză a Senzorului FabGuard pentru a oferi informații diagnostice critice, de exemplu, măsurători precise ale camerei și puterii procesului, analiza cauzelor fundamentale ale defectelor (cum ar fi problemele rețelei de potrivire), amprentarea procesului pentru potrivirea camerelor și modelarea metrologiei wafere în aplicațiile PVD, CVD și etching. Tehnologia senzorului RF INFICON cu FabGuard generează modele foarte precise care prezic metrologia wafere...