Analizatoare de Gaz Rezidual (RGA) și Spectrometre de Masă

MONITORIZARE ȘI CONTROL AL SCHIMBĂRILOR RAPIDE ÎN PROCES Noul analizor de gaze reziduale Transpector XPR 3+ (RGA) oferă viteze de măsurare de vârf în industrie pentru a monitoriza și controla schimbările rapide ale procesului necesare pentru fabricarea modernă a semiconductoarelor și a display-urilor. Transpector XPR 3+ este ideal pentru monitorizarea scurgerilor de aer in-situ, puritatea gazului, hidrocarburile și contaminarea. Măsurarea în timp real cu Transpector XPR 3+ oferă o protecție a produsului mult superioară în comparație cu testele periodice de creștere a ratei. CREȘTEREA PROFITABILITĂȚII PRIN MAXIMIZAREA TIMPULUI DE FUNCȚIONARE AL UNELTELOR Transpector XPR 3+ RGA este un senzor dovedit pe teren, cu sursă de ioni cvadruplă și duală, pentru aplicații în domeniul presiunii de sputare. Nu este necesară echipamente de conversie a presiunii, componentele cu durată lungă de viață și capacitatea de a detecta și diagnostica rapid problemele se combină pentru a maximiza disponibilitatea uneltelor, fluxul de produse și randamentul. Senzorul poate fi operat continuu de la vid înalt până la 20 mTorr, fără a necesita pompe. Transpector XPR 3+ cu ioni duali...