Sistem de Tratament al Suprafațelor cu Plasma | Nano - Sistem de Plasma la Presiune Mică, Sistem de Tratament al Suprafațelor cu Plasma, Curățător Plasma
Plasmaanlagen von Diener electronic haben sich längst in den verschiedensten Industriebereichen durchgesetzt. Mit der Niederdruck Plasmaanlage Nano setzten Sie auf die moderne und zukunftssichere kalte Plasmatechnologie im Vakuum. Das Kammervolumen von 18 bis zu 24 Liter dieses Plasmasystems bietet genügend Raum um Labor und auch Serienfertigungen zu bedienen.
Die Plasmabehandlung im Niederdruck-Plasma ist eine bewährte Technik zur kontrollierten Feinstreinigung, Verbesserung der Adhäsion (Aktivierung und Ätzung) und Beschichtung dünner Schichten auf Substratoberflächen. Plasma wird durch den Einsatz hochfrequenter Spannung in der Vakuumkammer erzeugt. Dabei wird das dort eingeleitete Prozessgas ionisiert.
Anwendungsgebiete:
VOC-freie Reinigung von organischen Rückständen
Aktivierung vor dem Lackieren, Kleben, Vergießen, …
Ätzen von PTFE, Fotolack, Oxidschichten, …
Super-hydrophobe und -hydrophile Beschichtungen
Abmessungen (Tischgerät):560 mm x 600 - 860 mm x 600 mm (BxHxT)
Abmessungen (Standgerät):600 mm x 1700 mm x 800 mm (BxHxT)
Vakuumkammer Material:Edelstahl, Aluminium, Quarzglas (UHP), Borosilikatglas (HP)
Vakuumkammer Abmessungen:ca. B 240 mm x H 240 mm x T 400 - 420 mm; Ø 267 mm, T 400 - 420 mm
Vakuumkammer Volumen:Ca. 18 - 24 Liter
Vakuumkammer Verschluss:Deckel, Tür mit Scharnier
Gaszufuhr:Nadelventile oder Mass Flow Controller (MFCs)
Generator:100 kHz; 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz
Druckmessung:Pirani, Kapazitätsmanometer
Elektroden:nach Kundenwunsch
Steuerung:Halbautomatik, Drehschalter, Basic PC (Win. CE), Full PC (Win. 10 IoT)
Spannungsversorgung:230 V / 400 V / 50 - 60 Hz
Vakuumpumpe:Saugleistung min. 16 m³/h