mașini de acoperire în vid prin magnetron - Tehnologia de sputtering cu magnetron de frecvență medie a devenit treptat curentul principal

Tehnologia de sputare cu magnetron de frecvență medie a devenit treptat principala tehnologie de acoperire prin sputare. Acoperire: Acoperire metalică multifuncțională, membrană compusă, acoperire conductivă transparentă, creșterea returnării la acoperire, acoperire de protecție electromagnetică, acoperire decorativă, etc. Sursă de alimentare: Sursă de alimentare pentru sputare cu magnetron DC, sursă de alimentare pentru sputare MF, sursă de alimentare pentru bombardament cu ioni la presiune înaltă. Țintă: Țintă pentru sputare cu magnetron DC, ținte twin MF, țintă plană, țintă cilindrică. Structura camerei de vid: Ușă verticală cu semnal, uși verticale duble. Sistem de pompare: Pompa moleculară (pompa de difuzie) + Pompa Roots + Pompa de menținere (opțional: pompa turbo, sistem de răcire poli). Sistem de aer: Controler de flux masic (1-4 căi) Vidul final: 6x10-4pa (fără sarcină, cameră curată) Timp de pompare: Fără sarcină de la aer la 5x10-3pa < 13 minute Modul de mișcare a locului de muncă: 6 axe/8 axe/9 axe, rotație publică și auto-rotire Dimensiuni: Φ800*H900mm, 1100*H1200mm, Φ1350*H1250mm, Φ1600*H1250mm, Φ1900*H1250mm Sistem de aer: Controler de flux masic (1-4 căi) Vidul final: 6x10-4pa (fără sarcină, cameră curată)