SIGA GMBH

SIGA dezvoltă și construiește sisteme personalizate pentru măsurarea, reglarea și controlul fluxurilor de gaz, precum și pentru evaporarea și dozarea precursorilor lichizi, completate de sisteme de alimentare cu precursor. Cu sistemele noastre de gaz, puteți doza un gaz sau mai multe gaze sau precursori și le puteți furniza unei sau mai multor puncte de utilizare. Sistemele sunt completate de un sistem de control bazat pe calculator, cu hardware și software. Proiectarea se face conform dorințelor dumneavoastră, pe baza experienței noastre. Oferim, printre altele, sisteme de evaporare a precursorilor și sisteme de alimentare, sisteme de ardere, sisteme de condiționare cu filtre de carbon activ. Se utilizează regulatoare de flux masic MFC, valve, filtre, senzori de presiune, senzori de temperatură etc. Domeniul de aplicare este oriunde gazele sunt utilizate în procesele de fabricație, de exemplu, pentru depunerea de straturi subțiri CVD. Certificat DIN EN ISO 9001 Sisteme de la SIGA • Evaporatoare de precursor ◦ Evaporator pentru un precursor ◦ Evaporator pentru 2 sau mai mulți precursori ◦ Dozare lichidă cu evaporare ulterioară • Sisteme de alimentare cu precursor • Sisteme de amestec de gaze • Sisteme de gaz pur • Stații de încărcare AKF • Sisteme de ardere