Măsurarea și reglarea fluxului de masă termică
Proprietăți esențiale*:
Domenii de măsurare și reglare:
+ Debimetre: 0 – 5 sccm până la 0 – 15,000 slm (echivalent N2)
+ Regulatoare de flux: 0 – 5 sccm până la 0 – 10,000 slm (echivalent N2)
+ Precizie mare de măsurare: ±(0.2% din valoarea finală + 0.5% din valoarea măsurată)
+ Reproducibilitate mare: ±0.05% din valoarea finală
+ Timp de răspuns scurt
+ Cădere de presiune redusă
+ Etanșare din metal sau elastomer
+ Rezistență mare la presiune: până la 34 bar sau mai mult (68 bar opțional)
+ Alimentare: 11-36 VDC unipolar sau bipolar (de exemplu, +24 VDC, ±15 VDC)
+ Ieșiri analogice: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA
+ Setarea valorii dorite: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA
+ Interfețe digitale: RS232, RS485, USB
+ Conexiuni mecanice: Swagelok, VCR, VCO sau flanșă
+ Calibrare trasabilă NIST
*în funcție de seria de produse