Depunerea Filmelor Subțiri - IC6

REALIZAREA EXCELENȚEI REPEATABILE Controlerul IC6 bogat în caracteristici oferă cea mai bună precizie de măsurare posibilă Controlerul IC6 pentru depunerea filmelor subțiri oferă o valoare excepțională prin combinarea performanței dovedite a controlerelor INFICON pentru filme subțiri cu caracteristici unice, toate concepute pentru a te ajuta să obții cele mai bune rezultate din procesul tău de depunere. IC6 utilizează sistemul nostru de măsurare a frecvenței ModeLock pentru a oferi măsurători stabile, de înaltă rezoluție a ratei și grosimii, cu o rezoluție a ratei de 0.00433 Å/s la fiecare 1/10 secundă. Niciun alt controler cu cristal de cuarț nu are performanța, calitatea și caracteristicile IC6, permițându-ți să faci excelența repetabilă. 1 Å pentru 0 la 9.999 kÅ 10 Å pentru 10.00 la 99.99 kÅ 100 Å pentru 100.0 la 999.9 kÅ 1 kÅ pentru 1000 la 9999 kÅ 0.001 pentru 0 la 9.999 Å/s dacă setarea timpului filtrului de rată este de 10 secunde sau mai mare 0.01 pentru 0 la 99.99 Å/s 0.1 pentru 100 la 999.9 Å/s 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Unelte/densitate = 100/1, frecvență fundamentală = 6 MHz (2)... Rezoluția frecvenței: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Rezoluția/măsurarea grosimii și ratei (1): ±0.00433 Å Intervalul de frecvență de măsurare: 6.0 la 4.5 MHz (fix) Precizia grosimii (2): 0.5% Intervalul de măsurare: 0.10 s Medii multiple de măsurare: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0 și 30.0 sec. medii permise Auto Z: da Autotone: da Co-depunere: da (până la 6 surse) Programe de material: 32 Straturi de proces (pe proces): 200 Procese: 50 (procesele pot fi legate între ele) Memorie USB: da Înregistrare date: da Dual / CrystalTwo®: 4 / 8 (cu CrystalTwo ® Switch) Numărul de surse (4): până la 6 Tensiuni de control ale sursei: 0 la +/-10 V, ajustabil Rezoluția de ieșire: 15 biți pe întreaga gamă (0 la 10V) Poziții de cuptor: 64 Intrări: 14 standard, până la 28 opționale; logică compatibilă TTL/CMOS sau închidere la masă Ieșiri: 8 standard, până la 24 opționale, relee SPST programabile evaluate la 30 V(dc) sau 30 V(ac) RMS sau 42 V peak Ieșire recorder (4): 0 la +10 V, ajustabil Declarații logice: 100 complet programabile; până la 5 acțiuni, 5 evenimente per declarație Standard: RS232 Opțional: Ethernet Rezoluția grosimii: 1 Å pentru 0 la 9.999 kÅ 10 Å pentru 10.00 la 99.99 kÅ 100 Å pentru 100.0 la 999.9 kÅ 1 kÅ pentru 1000 la 9999 k Rezoluția ratei: 0.001 pentru 0 la 9.999 Å/s dacă setarea timpului filtrului de rată este de 10 secunde sau mai mare 0.01 pentru 0 la 99.99 Å/ Cerințe de alimentare: 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Temperatura de funcționare: 0 la 50 C (32 la 122 F) Dimensiuni, excluzând suporturile (h x w x d): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Greutate: 23 lbs (10.5 kg)