Analizatoare de Gaz Rezidual (RGA) și Spectrometre de Masă - 100 AMU CPM
Analizatoare de Gaz Rezidual (RGA) și Spectrometre de Masă - 100 AMU CPM

Analizatoare de Gaz Rezidual (RGA) și Spectrometre de Masă - 100 AMU CPM

SISTEM DE MONITORIZARE A PROCESULUI RAPID ȘI PREGĂTIT PENTRU CÂMP Performanță, Fiabilitate și Versatilitate INFICON Transpector CPM a fost sistemul de monitorizare a procesului cu analizor de gaze reziduale (RGA) lider pe piață în industria semiconductorilor timp de peste un deceniu. Acum, Transpector CPM 3 oferă viteză de măsurare și sensibilitate de vârf în industrie printr-un sistem de pompare și intrare dovedit în câmp, integrat cu un nou senzor și electronică. Transpector CPM 3 este monitorul de proces RGA ideal pentru procesele semiconductoare noi și consacrate, cum ar fi ALD, CVD, PVD și Etch. Transpector CPM 3 oferă un return on investment dovedit partenerilor noștri prin: 1 Citirea presiunii sursei de ioni @ emisie scăzută folosind lentila de presiune totală 2 Precizia presiunii totale @ emisie scăzută 3 Presiunea maximă de operare a sursei de ioni @ emisie scăzută 4 2x10 -4 Torr în sursa de ioni va produce aproximativ 1x10 -5 Torr în regiunea quadrupol 5 MDPP la sursa de ioni cu EM activat și timp de staționare de 1s 6 Contribuția masei 40 asupra 41 AMU 7 Blast zero... Rezoluție: 1 amu lățime @ 10% din înălțimea vârfului Interval de presiune totală¹: 5E-7 - 1E-3 Torr Precizia presiunii totale²: +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr Presiunea maximă de operare a sursei de ioni³: 1E-3 Torr Presiunea nominală de operare⁴: 2E-4 Torr Presiunea de operare a sistemului: 1E-8 Torr - 1.2 atm Sensibilitate (emisie scăzută): > 4E-6 Amps/Torr Sensibilitate (emisie ridicată): > 2E-5 Amps/Torr Presiunea parțială minim detectabilă⁵: 1E-13 Torr Rata maximă de date: 1.8 ms/punct (555 puncte/sec) Sensibilitate la abundență⁶: < 5 ppm Blast zero⁷: < 2 ppm Limita de detecție⁸: < 1 ppm Liniaritate⁹: +/- 20% Presiunea de fundal minimă: 1E-8 Torr Temperatura maximă a senzorului și intrării: 150
Produse similare
1/15
Detecția și Monitorizarea Chimică (GCMS/GC/IR) - CMS5000
Detecția și Monitorizarea Chimică (GCMS/GC/IR) - CMS5000
Apa curată este esențială pentru viață. Pe măsură ce mai multe substanțe chimice sunt introduse în mediu, consecințele adverse asupra calității apei ș...
DE-50968 Köln
Manometre de vid de înaltă precizie - 1000 ... 500 Torr / mbar
Manometre de vid de înaltă precizie - 1000 ... 500 Torr / mbar
Manometrele INFICON SKY CDG100D sunt cea mai bună alegere pentru măsurarea și controlul precis al presiunii totale. Manometrele CDG100D sunt controlat...
DE-50968 Köln
Manometre de vid de înaltă precizie - 1000 Torr / 1100 mbar
Manometre de vid de înaltă precizie - 1000 Torr / 1100 mbar
Gama de manometre INFICON SKY CDG025D cu diafragmă capacitivă, foarte precise și compensate termic, este concepută pentru performanțe stabile în medii...
DE-50968 Köln
Treceri în vid - DN 40 CF-F - 1 trecere
Treceri în vid - DN 40 CF-F - 1 trecere
INFICON oferă flange feedthroughs ISO-KF la prețuri economice, care pot fi găsite în toate aplicațiile standard de vid din întreaga lume de mulți ani.
DE-50968 Köln
Detecția și Monitorizarea Chimică (GCMS/GC/IR) - HAPSITE ER
Detecția și Monitorizarea Chimică (GCMS/GC/IR) - HAPSITE ER
Singurul GC/MS Portabil pentru Persoane care Identifică VOC-uri și SVOC-uri Performanță Rapidă, Ușoară și Precise pe Teren HAPSITE ER este singurul c...
DE-50968 Köln
Manometre și controlere de vid compatibile - PCG550 Tungsten
Manometre și controlere de vid compatibile - PCG550 Tungsten
Gauges de diafragmă capacitivă INFICON Pirani (PCG55x) combină tehnologia INFICON Pirani cu avantajele unui senzor ceramic de diafragmă capacitivă înt...
DE-50968 Köln
Manometre și controlere de vid compatibile - PSG550 Tungsten
Manometre și controlere de vid compatibile - PSG550 Tungsten
Gauja standard Pirani INFICON (PSG55x) utilizează, la fel ca frații săi PCG55x și PSG50x, cea mai avansată tehnologie digitală Pirani disponibilă. Des...
DE-50968 Köln
Tehnologia de Sensing RF
Tehnologia de Sensing RF
Sistemul ADC100 se conectează la un generator de curent continuu pentru a detecta arcurile de plasmă în timp real. Acest lucru oferă capacitatea de a ...
DE-50968 Köln
Treceri de vid - DN 16 CF-F
Treceri de vid - DN 16 CF-F
INFICON oferă flange feedthroughs ISO-KF la prețuri accesibile, care pot fi găsite în toate aplicațiile standard de vid din întreaga lume de mulți ani...
DE-50968 Köln
Manometre de vid de înaltă precizie - 1000 Torr / 1100 mbar
Manometre de vid de înaltă precizie - 1000 Torr / 1100 mbar
Gama de manometre INFICON SKY CDG025D cu diafragmă capacitivă, foarte precise și compensate termic, este concepută pentru performanțe stabile în medii...
DE-50968 Köln
Manometre de vid cu gamă largă - PGE500
Manometre de vid cu gamă largă - PGE500
Manometrul INFICON Pirani Gauge Enhanced 500 (PGE500) este echipat cu cea mai recentă tehnologie digitală de convecție îmbunătățită Pirani disponibilă...
DE-50968 Köln
Analizatoare de Gaz Rezidual (RGA) și Spectrometre de Masă - FabGuard Explorer
Analizatoare de Gaz Rezidual (RGA) și Spectrometre de Masă - FabGuard Explorer
Software de Caracterizare a Proceselor pentru Sistemul de Analiză a Gazelor Transpector Cu acces cu un singur clic la cele două funcții RGA cele mai ...
DE-50968 Köln
Depunerea Filmelor Subțiri - SQM-160 Rezoluție Standard
Depunerea Filmelor Subțiri - SQM-160 Rezoluție Standard
SQM-160 utilizează tehnologia dovedită a senzorilor cu cristale de cuarț INFICON pentru a măsura rata și grosimea în procesele de depunere a filmelor ...
DE-50968 Köln
Manometre de vid de înaltă precizie - 10 ... 1000 Torr / mbar
Manometre de vid de înaltă precizie - 10 ... 1000 Torr / mbar
Gauges de presiune absolută INFICON Porter™ CDG020D este un senzor de presiune de înaltă calitate, rentabil, independent de tipul de gaz. Porter este ...
DE-50968 Köln
Controlere și Accesorii pentru Manometre de Vid - VGC501
Controlere și Accesorii pentru Manometre de Vid - VGC501
Soluție durabilă pentru măsurarea proceselor, control și înregistrare de date Compatibil cu gama largă de manometre active INFICON, noua serie VGC50x ...
DE-50968 Köln

Aplicația europages este aici!

Folosește căutarea îmbunătățită a furnizorilor sau creează-ți cererile pe drum cu noua aplicație europages pentru cumpărători.

Descărcare din App Store

App StoreGoogle Play