Tratament de Suprafață prin Plasma | Nano - Sistem de Tratament de Suprafață prin Plasma la Presiune Mică, Curățare prin Plasma
Les installations plasma de Diener electronic se sont imposées depuis longtemps dans les secteurs industriels les plus divers. Avec l'installation plasma basse pression Nano, vous misez sur la technologie plasma à froid sous vide moderne et pérenne. Le volume de la chambre de 18 à 24 litres de ce système plasma offre suffisamment de place pour les laboratoires et les productions en série.
Le traitement plasma à basse pression est une technique éprouvée pour le nettoyage fin contrôlé, l'amélioration de l'adhérence (activation et gravure) et le revêtement de couches minces sur les surfaces de substrats. Le plasma est généré par l'utilisation d'une tension à haute fréquence dans la chambre à vide. Le gaz de traitement qui y est introduit est alors ionisé.
Application :
Nettoyage sans COV de résidus organiques.
Activation avant le vernissage, le collage, l'encapsulage, ...
Gravure de PTFE, de laque photosensible, de couches d'oxyde, ...
Dimensions (appareil de table):560 mm x 600 - 860 mm x 600 mm (LxHxP)
Dimensions (appareil sur pied):600 mm x 1700 mm x 800 mm (LxHxP)
Chambre à vide (material):Acier inoxydable, Aluminium, Verre de quartz, Verre borosilicate
Chambre à vide (dimensions):env. L 240 mm x H 240 mm x P 400 - 420 mm, Ø 267 mm, P 400 - 420 mm
Chambre à vide (volume):env. 18 - 24 litres
Chambre à vide (fermeture):couvercle, porte à charnière
Alimentation en gaz:Vannes à aiguille / Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs)
Mesure de pression:Pirani, Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)
Générateurs:100 kHz; 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz
Électrodes:Un ou plusieurs niveaux
Systèmes de commande:Semi-automatique, Bouton rotatif, Basic PC, Full PC
Alimentation en tension:230 V / 400 V / 50 - 60 Hz
Pompes à vide:Puissance d'aspiration : 16 m³/h