Sistem de Tratament al Suprafațelor cu Plasma | Tetra 2800
Niederdruck-Plasmaanlage, Plasma-Oberflächen-Behandlungsanlage, Plasma Cleaner - Plasmaanlagen von Diener electronic haben sich längst in den verschiedensten Industriebereichen durchgesetzt. Mit der Niederdruck Plasmaanlage Tetra 2800 setzten Sie auf die moderne und zukunftssichere kalte Plasmatechnologie im Vakuum. Das Kammervolumen von ca. 2800 Liter dieses Plasmasystems bietet genügend Raum um Serienfertigungen zu bedienen.
Die Plasmabehandlung im Niederdruck-Plasma ist eine bewährte Technik zur kontrollierten Feinstreinigung, Verbesserung der Adhäsion (Aktivierung und Ätzung) und Beschichtung dünner Schichten auf Substratoberflächen. Plasma wird durch den Einsatz hochfrequenter Spannung in der Vakuumkammer erzeugt. Dabei wird das dort eingeleitete Prozessgas ionisiert.
Anwendungsgebiete:
VOC-freie Reinigung von organischen Rückständen
Aktivierung vor dem Lackieren, Kleben, Vergießen, …
Ätzen von PTFE, Fotolack, Oxidschichten, …
Super-hydrophobe und -hydrophile Beschichtungen
Abmessungen (Standgerät - 19" Rack):600 mm x 1700 mm x 800 mm (BxHxT)
Vakuumkammer Material:Edelstahl
Vakuumkammer Abmessungen:Ø 1200 mm, T 2500 mm
Vakuumkammer Volumen:Ca. 2800 Liter
Vakuumkammer Verschluss:Tür mit Scharnier
Gaszufuhr:3 Gaskanäle über MFCs, Mass Flow Controller (MFC)
Generator:80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz
Druckmessung:Pirani, Kapazitätsmanometer
Elektroden:Ein- oder mehretagen Seitenelektrotoden
Steuerung:Full PC (Win. 10 IoT)
Spannungsversorgung:400 V / 50 - 60 Hz
Vakuumpumpe:nach Kundenwunsch