Unelte de depunere și gravare - Tehnologie cu plasmă - PlasmaPro 100 PECVD Cluster

Instrumente de producție casetă la casetă PlasmaPro 100 Cobra grupat folosind un manipulator robotic cu 7 axe Module de procesare în lot de 200 mm și multiwafer & platforme de instrumente care oferă o uniformitate excelentă și un randament ridicat pentru o gamă de aplicații, fie ca sisteme autonome, fie ca sisteme grupate. Platformele pot fi grupate pentru a combina tehnologii și procese, având opțiuni de încărcare fie pentru casete, fie pentru wafer unic. Sunt disponibile configurații de camere de transfer hexagonale sau pătrate. ** Faceți clic pentru a solicita prețuri **