Îndepărtare / Curățare

Prin acest proces se realizează depuneri de peliculă subțire. De asemenea, este posibilă curățarea locală a suprafețelor componentelor. Astfel, de exemplu, componentele foarte (uleioase) murdărite pot fi curățate local, straturile funcționale pot fi îndepărtate sau proprietățile suprafeței pot fi modificate intenționat. Folii de etichetare sau plăci de mașină sunt o aplicație frecvent implementată în acest context.