Sisteme complete pentru tratarea și acoperirea suprafețelor prin procese de plasmă
Activare, curățare și gravare cu plasmă la presiune atmosferică, gravare cu ioni reactivi (RIE) și plasmă cu microunde în aval
AURION oferă instalații cu mai multe camere, adaptate special cerințelor dumneavoastră, cu transport de substrat sub vid.
Configurațiile disponibile ...
Sisteme compacte, amprentă minimă - Densități mari de plasmă pentru timpi scurți de procesare - Homogenitate optimizată printr-un aranjament de plasmă...
AURION oferă sisteme cu mai multe camere adaptate cerințelor dumneavoastră, cu manipularea substraturilor sub vid.
Configurațiile disponibile includ ...
KIVOS este un concept foarte flexibil și modular pentru sistemele de plasmă.
Aceste sisteme pot fi utilizate în cele mai diverse domenii de aplicare,...
Manipularea fasciculului în acceleratoare de particule (de exemplu, comprimarea bunch-ului), sisteme complet integrate din cavitate cu, tub de fascicu...
Max. 4 controlere de flux de gaz cu un debit de până la 500 sccm pe controler, alimentare: 3/N/PE AC 400/230V, volum cameră: 30 l, dimensiuni (LxPxH):...
Recipientele de vid sunt disponibile fie din aluminiu, fie din oțel inoxidabil, pompele de vid sunt realizate într-o variantă rezistentă la gaze coroz...
AURION oferă instalații cu mai multe camere, adaptate special cerințelor dumneavoastră, cu transport de substrat sub vid.
Configurațiile disponibile ...
Sisteme compacte, amprentă minimă - Densități mari de plasmă pentru timpi scurți de procesare - Homogenitate optimizată printr-un aranjament de plasmă...
AURION oferă sisteme cu mai multe camere adaptate cerințelor dumneavoastră, cu manipularea substraturilor sub vid.
Configurațiile disponibile includ ...
KIVOS este un concept foarte flexibil și modular pentru sistemele de plasmă.
Aceste sisteme pot fi utilizate în cele mai diverse domenii de aplicare,...
Manipularea fasciculului în acceleratoare de particule (de exemplu, comprimarea bunch-ului), sisteme complet integrate din cavitate cu, tub de fascicu...
Max. 4 controlere de flux de gaz cu un debit de până la 500 sccm pe controler, alimentare: 3/N/PE AC 400/230V, volum cameră: 30 l, dimensiuni (LxPxH):...
Recipientele de vid sunt disponibile fie din aluminiu, fie din oțel inoxidabil, pompele de vid sunt realizate într-o variantă rezistentă la gaze coroz...